Подготовительный этап водоподготовки играет важнейшую роль в создании высококачественных электронных компонентов, таких как интегральные микросхемы, полупроводники, многослойные модули памяти. Компания «Экология-М» специализируется на получении ультрачистой воды (Ultra-Pure Water), необходимой для осуществления множества производственных операций в сфере микроэлектроники.
Эта особая форма воды широко востребована в изготовлении полупроводниковых чипов, жидкокристаллических экранов, солнечных панелей, иных изделий высоких технологий. UPW используется в различных стадиях техпроцессов, таких как нанесение покрытий, изготовление фотошаблонов, контроль чистоты поверхностей.
Главной задачей водоподготовки в микроэлектронике является достижение высочайшей степени чистоты, исключающей любые микрозагрязнения. Малейшие примеси, присутствующие в обычной водопроводной воде, сравнимы по размерам с миниатюрными структурами на кремниевых пластинах, что неизбежно приводит к дефектам, браку в готовом изделии. Вода для микроэлектроники должна быть абсолютно свободной от посторонних солей, газа, пыли, микроорганизмов, поскольку даже ничтожные следы загрязнений влияют на электрические, оптические, физические характеристики готового изделия.
Помимо непосредственного производства, подготовленную воду активно используют в лабораториях, исследовательских центрах, технологических линиях, где она служит основой для приготовления реактивов, смесей, а также участвует в операциях промывки, обезжиривания материалов.
Микроэлектроника достигла столь высокого уровня точности, что малейший недостаток в составе рабочей среды оказывает заметное влияние на функционирование готовых схем. Именно поэтому компания «Экология-М» реализует полный цикл водоподготовки для микроэлектроники, состоящий из предварительного кондиционирования, тонкой фильтрации, глубокого обеззараживания, финишной очистки. Все перечисленные операции обеспечивают получение идеальной по составу воды, пригодной для самого требовательного электронного производства.
Особенность этой воды заключается в ее чрезвычайной активности: любое вещество, попавшее в нее, немедленно переходит в растворенное состояние, делая необходимым постоянный контроль чистоты, постоянную подготовку свежей партии UPW.
Требования к качеству воды для производства микроэлектроники
Компания «Экология-М» поставляет воду, соответствующую международным стандартам ASTM D-5127 и отечественному стандарту ОСТ 11.029.003-80, специально разработанным для электронной промышленности. Важнейшие критерии оценки воды, применяемые на разных этапах производства микросхем, отражены в таблицах ниже.
Типы воды различаются степенью чистоты, которая регулируется в зависимости от размера линий микросхем, специфики конкретных технологических процессов. Тип E-1 обозначает наивысшую степень чистоты, подходящую для особо чувствительных стадий производства.
| Параметры воды | Марка воды по нормам ASTM D-5127-13 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| E-1 | E-1.1 | E1.2B | E1.3B | E-2 | E-3 | E-4 | |
| Удельное сопротивление при температуре 25°С, МОм*см | 18,1 | 18,2 | 18,2 | 18,2 | 16,5 | 12 | 0,5 |
| Общий органический углерод, мкг/л, не более | 5 | 2 | 1 | 1 | 50 | 300 | 1000 |
| Содержание меди, мг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 2 | 500 |
| Хлориды, мкг/л, не более | 0,1 | 0,05 | 0,02 | 0,050 | 1 | 10 | 1000 |
| Никель, мкг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 2 | 500 |
| Нитраты, мг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 5 | 500 |
| Фосфаты, мг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 5 | 500 |
| Сульфат, мг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 5 | 500 |
| Калий, мкг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | |||
| Натрий, мкг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 5 | 1000 |
| Цинк, мкг/л, не более | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 0,001 | 1 | 5 | 500 |
Российский стандарт определяет три класса воды для микроэлектроники: классы A, B и C. Каждый класс предназначен для определенного уровня технологических процессов, производственных требований.
| ОСТ 11 029.003-80 | |||
|---|---|---|---|
| Показатель | Марка воды | ||
| В | Б | А | |
| Удельное сопротивление (t=18-22C), МОм*см, не менее | 5 | 17 | 18 |
| Перманганатная окисляемость, мгО2/л | 1,0 | 0,6 | 0,2 |
| Кремниевая кислота (в пересчете на SiO3), мг/л, не более | 0,05 | 0,01 | 0,01 |
| Содержание железа, мг/л, не более | 0,01 | 0,005 | 0,002 |
| Содержание меди, мг/л, не более | 0,003 | 0,002 | 0,002 |
| Содержание микрочастиц размером 1-5 мкм, шт./мл | 50 | 20 | 2 |
| Содержание микроорганизмов, колоний/мл | 10 | 2 | 1 |
| Минимальный размер частиц, мкм | 5 | 1 | 1 |
Почему важна водоподготовка для микроэлектроники
Получаемая компанией «Экология-М» ультрачистая вода (UPW) обладает чрезвычайно низкой электропроводимостью, отсутствием микроскопических загрязнений, обеспечивая оптимальное решение для микроэлектронных процессов. Чрезвычайно малые размеры дефектов, допускаемых современными технологиями, делают такую воду незаменимой частью успешного производственного процесса.
Наши решения и возможности
Мы обеспечиваем наши клиенты оптимальной системой водоподготовки, основанной на современном оборудовании, инновационных методах очистки. Наша команда профессионалов обеспечит вам безупречное качество воды для ваших производственных нужд, будь то формирование пленок, чистка подложек или создание химических растворов.
Основные этапы водоподготовки в микроэлектронике
Вода, поступающая на установку подготовки Ultra-Pure Water (UPW), подвергается ряду процедур для достижения требуемой чистоты. Рассмотрим каждый этап подробно:
- Предварительная очистка (Обезжелезивание):
Первоначально вода освобождается от избыточного содержания железа, которое может присутствовать в виде двухвалентных соединений. Методы обезжелезивания основаны на переводе растворимого железа в нерастворимую форму путем окислительной обработки (воздухом, хлором, озоном, перманганатом калия и др.). После окисления образовавшиеся нерастворимые частицы железа задерживаются фильтрами с гранулами катализирующих материалов, таких как антрацит, кварц, а также смеси из особых катализаторов, таких как Birm, MTM, AMDX и аналогичных. Специалисты нашей компании выбирают оптимальный состав фильтрующего слоя индивидуально для каждого заказчика, учитывая особенности примесей в исходной воде. - Тонкая фильтрация (Ультрафильтрация):
Этот этап устраняет мелкие коллоидные частицы, бактерии, улучшая прозрачность и чистоту воды. Используется метод ультрафильтрации с мембранами UF, обладающими способностью задерживать мельчайшие частицы, микроорганизмы. - Умягчение:
Чтобы предотвратить образование накипи, повысить долговечность последующих этапов, воду смягчают с помощью ионообменных смол. Этот процесс удаляет кальций и магний, снижая жесткость воды, облегчая дальнейшую очистку. - Система обратного осмоса (RO):
Установка обратного осмоса очищает воду от большей части растворенных солей, органических соединений. Мембраны RO удерживают большинство солей, неорганических молекул, пропуская лишь чистую воду. Степень очистки достигает 95%-99,8%. - Электродеионизация (EDI):
Используется для финальной очистки, деминерализации воды. Процесс сочетает ионный обмен, электродиализ, постоянное электрическое поле, эффективно удаляя ионы, повышая удельную сопротивляемость воды до 15-18,2 МОм·см.
Применение технологий в микроэлектронике:
Компании, работающие в области микроэлектроники, предъявляют высокие требования к качеству воды, поэтому наша компания создает индивидуальные проекты водоподготовки для отрасли микроэлектроники, сочетающие эффективные методы и современное оборудование. Мы обеспечиваем поставку сверхчистой воды (UPW), соответствующей международным стандартам ASTM D-5127 и российским нормативам ОСТ 11.029.003-80.
Преимущества использования сверхчистой воды в микроэлектронике
Эффективность производства микроэлектроники напрямую зависит от качества используемой воды. Наличие загрязнений в водной среде может вызывать серьезные дефекты в конечном продукте, приводящие к значительным убыткам. Вот почему обеспечение надежной, качественной водоподготовки является приоритетом для компаний, работающих в этой сфере.
Вот ключевые преимущества использования ультрачистой воды (класс E1 и выше):
- Соответствие отраслевым стандартам: Использование воды высшего класса (E1 и E2) обеспечивает соответствие вашим проектам, независимо от того, изготавливаете ли вы дисплеи, солнечные панели или интегральные схемы;
- Применение инновационных материалов: Наше оборудование изготавливается с использованием современных полимеров, таких как поливинилиденфторид (PVDF), что обеспечивает длительный срок службы, устойчивость к внешним факторам;
- Полный цикл подготовки воды: Мы предоставляем полный комплект услуг, начиная от проектирования систем водоподготовки, расчета, поставки оборудования и заканчивая монтажом и последующим обслуживанием.
Наш опыт показывает, что качественные решения в области водоподготовки для микроэлектроники помогают сократить издержки, увеличить выход продукции, повысить конкурентоспособность вашей компании.
Хотите начать сотрудничество и поднять ваш бизнес на новый уровень производительности и качества? Свяжитесь с нами!
Наши сертификаты
